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  • 法国Annealsys快速退火炉/高温快速热处理beplay手机官方AS-Premium

    法国Annealsys快速退火炉/高温快速热处理beplay手机官方AS-Premium
    法国Annealsys快速退火炉/高温快速热处理beplay手机官方AS-Premium
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  • 产品型号:AS-Premium
  • 品        牌:法国Annealsys
  • 所  在  地:北京
  • 更新日期:2020-06-19
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    详细信息

     
    加工定制:是
     
    品牌:法国Annealsys
     
    型号:AS-Premium
     
    更多信息详见官网www.longsun.asia

    法国Annealsys公司专注生产快速退火炉(RTP)、DLI-CVD直接注入式化学气相沉积beplay手机官方,其研发生产的型号AS-Premium快速退火炉,可适用基片尺寸156mm*156mm及以下兼容,具有多种配置模式,可升级为全自动机械手模式。

    一、可适用基片类型:
    硅和化合物半导体晶圆,碳化硅晶圆,太阳能电池多晶硅晶圆,玻璃,金属,石墨和碳化硅托盘等等。

    二、应用:
    注入退火、欧姆接触退火(III-V and SiC)、快速热氧化RTO、快速热氮化RTN、致密和结晶、硒化(CIGS太阳能电池)、石墨烯CVD、旋涂掺杂物扩散……

    三、产品特性:
    Infrared halogen tubular lamp furnace with silent fan cooling
    红外卤素灯管加热,无音风扇冷却
    Square process chamber for substrates up to 156x156mm²
    方形工艺腔室,用于处理*大156x156mm²基片
    200 mm process capability
    200mm工艺能力
    Stainless steel cold wall chamber technology
    不锈钢水冷腔室壁技术
    Fast digital PID temperature controller
    快速数字PID温度控制器
    Thermocouple and pyrometer control
    热电偶和高温计控制
    Atmospheric and vacuum process capability
    常压和真空工艺性能
    Purge gas line with needle valve
    配备针阀的气体吹扫管路
    Up to 8 process gas lines with digital MFC
    8条带数字MFC的工艺气路
    PC control with Ethernet communication for fast data logging
    计算机控制配备以太网通信用于快速数据记录
    Optional turbo pump and pressure control
    可选分子泵和压力控制

    四、多配置选择:
    低温单侧加热:4加热区,*高温度1100℃。
    高温单侧加热:8加热区,*高温度1300℃。
    双面加热:6加热区,*高温度1300℃。
    AS-Premium快速退火炉beplay手机官方可配置为全自动机械手模式。
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